石墨热场
石墨热场是真空电阻炉的核心部分， 它的好坏直接影响到炉子的性能及其运营成本。石墨热场的设计是多种多样的，具体选择哪一种设计方案，主要基于对工艺流程的具体分析。
大多数真空电阻炉的石墨热场包括四个主要组成部分：
加热器及其连接部件
隔热部件（或者反射屏）
石墨热场支撑部件
工件承载炉床
从形状上来划分，石墨热场可以有方形和圆形之分，圆形石墨热场在真空炉领域中占有较高的比例。
为了能够从炉膛中方便地安装和移除，所有的石墨热场都被建造成为模块的形式。
加热器
大多数高温真空炉是采用电阻加热的方式。加热器的选材可以是金属或者石墨。根据需要，加热器可以设计成多种形式。 加热器材料的选择主要取决于工作温度。 对于低工作温度的， 例如真空回火炉来说，价格便宜的镍铬合金就可以胜任。对于需要高温，用来做热处理的诸如， 火炉和钎焊炉来说，钼和石墨是目前 常用的材料。多年以来，钼金属几乎完全专用于真空热处理和钎焊炉中，同时也普遍存在一种误解是说： 从石墨材料中排放的物质会和某些材料起化学反应并且污染炉内工件。
早期石墨加热器仅限于形状简单的那种，而且石墨部件之间的的连接和电学性能不是很稳定。
随着石墨材料性能和加工工艺的提高，已经有越来越多的石墨加热器应用到热处理和钎焊炉中，在数量上已经超过了钼加热器。
铸锭炉石墨热场主要由三种材料组成：特种石墨用来做加热器、石墨电极、石墨坩埚、DS块、支撑杆、进气管等零部件。
石墨热场
石墨热场是多晶硅铸锭炉的心脏、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。石墨的来源广泛，可加工成各种形状，且具有热惯性小，可以快速加热，耐高温，耐热冲击性好，辐射面积大，加热效率高，基本性能稳定等特点，成为了现在石墨热场的主要原料。 直拉单晶炉用石墨热场系统简介：热系统长期使用在高温下，所以要求石墨材质结构致密、坚固、耐用、变形小、无空洞、无裂纹、金属杂质含量少。热场所需石墨材料，从制成原理分为：多用等静压，挤压和模压三种。
